Estudo da cinética de formação do 'TI''SI IND.2' fase c49 sobre silício monocristalino (1992)
- Authors:
- USP affiliated authors: LAGANA, ARMANDO ANTONIO MARIA - EP ; SILVA, ANA NEILDE RODRIGUES DA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/EPUSP
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1992
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
LAGANÁ, Armando Antonio Maria e SILVA, Ana Neilde Rodrigues da. Estudo da cinética de formação do 'TI''SI IND.2' fase c49 sobre silício monocristalino. 1992, Anais.. São Paulo: Sbmicro/EPUSP, 1992. . Acesso em: 13 fev. 2026. -
APA
Laganá, A. A. M., & Silva, A. N. R. da. (1992). Estudo da cinética de formação do 'TI''SI IND.2' fase c49 sobre silício monocristalino. In Anais. São Paulo: Sbmicro/EPUSP. -
NLM
Laganá AAM, Silva ANR da. Estudo da cinética de formação do 'TI''SI IND.2' fase c49 sobre silício monocristalino. Anais. 1992 ;[citado 2026 fev. 13 ] -
Vancouver
Laganá AAM, Silva ANR da. Estudo da cinética de formação do 'TI''SI IND.2' fase c49 sobre silício monocristalino. Anais. 1992 ;[citado 2026 fev. 13 ] - Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio
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