Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA
ABNT
CUNHA JUNIOR, Rubens Martins. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico. 2015. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/. Acesso em: 09 out. 2024.APA
Cunha Junior, R. M. (2015). Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/NLM
Cunha Junior RM. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico [Internet]. 2015 ;[citado 2024 out. 09 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/Vancouver
Cunha Junior RM. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico [Internet]. 2015 ;[citado 2024 out. 09 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/