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Tese (Doutorado)
Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal (2017)
Armas Alvarado, Maria Elisia; Alayo Chávez, Marco Isaías (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: DISPOSITIVOS ÓPTICOS, MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
ARMAS ALVARADO, Maria Elisia. Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal. 2017. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/. Acesso em: 30 jun. 2024.
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Armas Alvarado, M. E. (2017). Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/
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Armas Alvarado ME. Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal [Internet]. 2017 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/
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Armas Alvarado ME. Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal [Internet]. 2017 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/
Tese (Doutorado)
Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio (2015)
Damiani, Larissa Rodrigues; Mansano, Ronaldo Domingues (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
DAMIANI, Larissa Rodrigues. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio. 2015. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Damiani, L. R. (2015). Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
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Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
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Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/
Dissertação (Mestrado)
Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados (2014)
Camilo, Mauricio Eiji; Kassab, Luciana Reyes Pires (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: DISPOSITIVOS ÓPTICOS, MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
CAMILO, Mauricio Eiji. Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados. 2014. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2014. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Camilo, M. E. (2014). Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/
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Camilo ME. Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados [Internet]. 2014 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/
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Camilo ME. Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados [Internet]. 2014 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/
Dissertação (Mestrado)
Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (2011)
Colombo, Fábio Belotti; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: SOFTWARES (SIMULAÇÃO), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, AUTÔMATOS CELULARES, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
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ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. 2011. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Colombo, F. B. (2011). Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
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Colombo FB. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
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Colombo FB. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
Dissertação (Mestrado)
Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo (2011)
Espinosa, Daniel Humberto Garcia ; Onmori, Roberto Koji (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: FILMES FINOS, ÓPTICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ESPINOSA, Daniel Humberto Garcia. Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo. 2011. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Espinosa, D. H. G. (2011). Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/
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Espinosa DHG. Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo [Internet]. 2011 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/
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Espinosa DHG. Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo [Internet]. 2011 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/
Dissertação (Mestrado)
Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS (2010)
Pelegrini, Marcus Vinícius ; Pereyra, Inés (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, ATUADORES PIEZELÉTRICOS
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PELEGRINI, Marcus Vinícius. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS. 2010. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/. Acesso em: 30 jun. 2024.
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Pelegrini, M. V. (2010). Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/
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Pelegrini MV. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/
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Pelegrini MV. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/
Tese (Doutorado)
Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos (2010)
Roque Huanca, Danilo; Salcedo, Walter Jaimes (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, MATERIAIS, ELETROQUÍMICA, CORROSÃO, SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA), NANOTECNOLOGIA, MATERIAIS NANOESTRUTURADOS, NANOPARTÍCULAS
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ABNT
ROQUE HUANCA, Danilo. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos. 2010. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Roque Huanca, D. (2010). Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/
NLM
Roque Huanca D. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos [Internet]. 2010 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/
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Roque Huanca D. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos [Internet]. 2010 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/
Dissertação (Mestrado)
Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering (2009)
Damiani, Larissa Rodrigues; Mansano, Ronaldo Domingues (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
DAMIANI, Larissa Rodrigues. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering. 2009. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Damiani, L. R. (2009). Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/
NLM
Damiani LR. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering [Internet]. 2009 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/
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Damiani LR. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering [Internet]. 2009 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/
Dissertação (Mestrado)
Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos (2008)
Silva, Felipe José Ferreira Sabino da; Furlan, Humber (Orientador)
Unidade: EP
Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
SILVA, Felipe José Ferreira Sabino da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Silva, F. J. F. S. da. (2008). Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
NLM
Silva FJFS da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
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Silva FJFS da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
Dissertação (Mestrado)
Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos (2008)
Morales Alvarado, Ary Adilson; Pereyra, Inés (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, DISPOSITIVOS ÓPTICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MORALES ALVARADO, Ary Adilson. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Morales Alvarado, A. A. (2008). Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
NLM
Morales Alvarado AA. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
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Morales Alvarado AA. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
Dissertação (Mestrado)
Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada (2008)
Carvalho, Daniel Orquiza de ; Alayo Chávez, Marco Isaías (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: ÓPTICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
CARVALHO, Daniel Orquiza de. Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Carvalho, D. O. de. (2008). Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/
NLM
Carvalho DO de. Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/
Vancouver
Carvalho DO de. Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/
Dissertação (Mestrado)
Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica (2008)
Schianti, Juliana de Novais; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE FABRICAÇÃO
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
SCHIANTI, Juliana de Novais. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Schianti, J. de N. (2008). Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/
NLM
Schianti J de N. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/
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Schianti J de N. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/
Tese (Doutorado)
Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS (2008)
Rehder, Gustavo Pamplona ; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PLASMA (MICROELETRÔNICA), DISPOSITIVOS ÓPTICOS
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS. 2008. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Rehder, G. P. (2008). Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/
NLM
Rehder GP. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/
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Rehder GP. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/
Dissertação (Mestrado)
Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder (2008)
Mina, Alexandre Martin; Alayo Chávez, Marco Isaías (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: ÓPTICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MINA, Alexandre Martin. Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Mina, A. M. (2008). Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/
NLM
Mina AM. Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/
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Mina AM. Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder [Internet]. 2008 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/
Dissertação (Mestrado)
Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura (2007)
Rocha, Otávio Filipe da; Viana, Carlos Eduardo (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: FILMES FINOS, PLASMA (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
ROCHA, Otávio Filipe da. Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura. 2007. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Rocha, O. F. da. (2007). Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/
NLM
Rocha OF da. Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/
Vancouver
Rocha OF da. Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/
Dissertação (Mestrado)
Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina (2007)
Stelet, Adriana Barboza; Salcedo, Walter Jaimes (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), SENSOR, SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA), ELETROQUÍMICA
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ABNT
STELET, Adriana Barboza. Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina. 2007. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Stelet, A. B. (2007). Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/
NLM
Stelet AB. Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/
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Stelet AB. Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/
Dissertação (Mestrado)
Sensores eletroquímicos para detecção de íons e medida de pH baseados em filmes de silício poroso (2007)
Cechelero, Gustavo Sampaio e Silva; Salcedo, Walter Jaimes (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, ELETROQUÍMICA, SILÍCIO
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ABNT
CECHELERO, Gustavo Sampaio e Silva. Sensores eletroquímicos para detecção de íons e medida de pH baseados em filmes de silício poroso. 2007. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-04072007-152612/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Cechelero, G. S. e S. (2007). Sensores eletroquímicos para detecção de íons e medida de pH baseados em filmes de silício poroso (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-04072007-152612/
NLM
Cechelero GS e S. Sensores eletroquímicos para detecção de íons e medida de pH baseados em filmes de silício poroso [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-04072007-152612/
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Cechelero GS e S. Sensores eletroquímicos para detecção de íons e medida de pH baseados em filmes de silício poroso [Internet]. 2007 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-04072007-152612/
Dissertação (Mestrado)
Sistemas auto-organizados para aplicação em cristais fotônicos (2005)
Raimundo, Daniel Scodeler; Salcedo, Walter Jaimes (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), ÓPTICA ELETRÔNICA, SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA), ELETROQUÍMICA
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ABNT
RAIMUNDO, Daniel Scodeler. Sistemas auto-organizados para aplicação em cristais fotônicos. 2005. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. . Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Raimundo, D. S. (2005). Sistemas auto-organizados para aplicação em cristais fotônicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Raimundo DS. Sistemas auto-organizados para aplicação em cristais fotônicos. 2005 ;[citado 2024 jun. 30 ]
Vancouver
Raimundo DS. Sistemas auto-organizados para aplicação em cristais fotônicos. 2005 ;[citado 2024 jun. 30 ]
Dissertação (Mestrado)
Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (2005)
Rehder, Gustavo Pamplona ; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Unidade: EP
Assuntos: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), SEMICONDUTORES
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ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD. 2005. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/. Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Rehder, G. P. (2005). Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
NLM
Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
Vancouver
Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2024 jun. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
Tese (Livre Docência)
A microeletrônica a serviço da sociedade (2004)
Fonseca, Fernando Josepetti
Unidade: EP
Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
FONSECA, Fernando Josepetti. A microeletrônica a serviço da sociedade. 2004. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2004. . Acesso em: 30 jun. 2024.
APA
Fonseca, F. J. (2004). A microeletrônica a serviço da sociedade (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Fonseca FJ. A microeletrônica a serviço da sociedade. 2004 ;[citado 2024 jun. 30 ]
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Fonseca FJ. A microeletrônica a serviço da sociedade. 2004 ;[citado 2024 jun. 30 ]

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