Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos (2008)
- Authors:
- Autor USP: SILVA, FELIPE JOSÉ FERREIRA SABINO DA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Abstract: Nos últimos anos tem se dado uma evolução muito grande na área industrial de MEMS, e esta se caracteriza por desenvolvimento dos processos de microeletrônica para diminuição de custos e a própria integração de diferentes sistemas que passam a ser muito confiáveis em diferentes aplicações. Motivado pelas tendências de elevar os conhecimentos de processos para obtenção de MEMS, foi proposto um trabalho de corrosão anisotrópica de silício utilizando solução de hidróxido de potássio (KOH) junto com a adição de sais metálicos. O objetivo é comprovar o efeito de compensação cinética da reação e a influência destes metais no caráter anisotrópico e nas taxas de corrosão. Foi analisado o efeito de zinco, alumínio e cobre, e puderam ser observadas alterações nas taxas de corrosão e, conseqüentemente, nas geometrias resultantes no corpo de silício. Com a caracterização dessas mudanças comprovou-se suposições anteriores de que o efeito de compensação cinética encontrado na síntese direta de dimetilclorosilana (DMDCS) e silício, também ocorreria para a corrosão de silício em KOH, pois esses processos obedecem a lei de Arrhenius e tem um comportamento anisotrópico em silício. Os resultados obtidos, graças a um grande detalhamento de todos as etapas de processo e caracterização voltada à tecnologia do silício, comprovaram as suposições teóricas e mostraram como pode ser modificada a taxa de corrosão na anisotropia com a adição de metais em solução.
- Imprenta:
- Data da defesa: 18.03.2008
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ABNT
SILVA, Felipe José Ferreira Sabino da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/. Acesso em: 24 jan. 2026. -
APA
Silva, F. J. F. S. da. (2008). Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/ -
NLM
Silva FJFS da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;[citado 2026 jan. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/ -
Vancouver
Silva FJFS da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;[citado 2026 jan. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
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