Subjects: CIRCUITOS INTEGRADOS, SILÍCIO
ABNT
SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos. Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais. 1999. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1999. . Acesso em: 04 ago. 2024.APA
Santos Filho, S. G. dos. (1999). Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Santos Filho SG dos. Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais. 1999 ;[citado 2024 ago. 04 ]Vancouver
Santos Filho SG dos. Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais. 1999 ;[citado 2024 ago. 04 ]