Subjects: SILÍCIO, FILMES FINOS
ABNT
SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos. Aplicação de filmes de siliceto de titanio e do escoamento térmico rapido de camadas de PSG na fabricação de circuitos integrados nMOS. 1988. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1988. . Acesso em: 17 ago. 2024.APA
Santos Filho, S. G. dos. (1988). Aplicação de filmes de siliceto de titanio e do escoamento térmico rapido de camadas de PSG na fabricação de circuitos integrados nMOS (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Santos Filho SG dos. Aplicação de filmes de siliceto de titanio e do escoamento térmico rapido de camadas de PSG na fabricação de circuitos integrados nMOS. 1988 ;[citado 2024 ago. 17 ]Vancouver
Santos Filho SG dos. Aplicação de filmes de siliceto de titanio e do escoamento térmico rapido de camadas de PSG na fabricação de circuitos integrados nMOS. 1988 ;[citado 2024 ago. 17 ]