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Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos (2017)

  • Authors:
  • Autor USP: SANTOS, THALES BORRELY DOS - IF
  • Unidade: IF
  • Sigla do Departamento: FNC
  • Subjects: FILMES FINOS; FEIXES; ALUMINA; RAIOS X
  • Keywords: FEIXES IÔNICOS; CARACTERIZAÇÃO DE MATERIAIS
  • Language: Português
  • Abstract: Este trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar+. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e uxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos lmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, reetividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente e à 450 oC são amorfas independentemente da energia do feixe iônico. Filmes formados com assistência de feixe possuem qualidade superior àqueles formados por deposição física de vapor. O bombardeamento de íons Ar+ mostra-se capaz de controlar a concentração de hidrogênio, a estequiometria, a rugosidade, o tamanho dos grãos e a densidade dos lmes nos. Amostras com excelente qualidade baixa rugosidade, estequiometria próxima da ideal e boa densidade foram produzidas utilizando íons com energia dentre 300 eV e 600 eV.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 28.04.2017
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      SANTOS, Thales Borrely dos; CHUBACI, José Fernando Diniz. Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos. 2017.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/pt-br.php >.
    • APA

      Santos, T. B. dos, & Chubaci, J. F. D. (2017). Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/pt-br.php
    • NLM

      Santos TB dos, Chubaci JFD. Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/pt-br.php
    • Vancouver

      Santos TB dos, Chubaci JFD. Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/pt-br.php


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