Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos (2017)
- Autores:
- Autor USP: SANTOS, THALES BORRELY DOS - IF
- Unidade: IF
- Sigla do Departamento: FNC
- Assuntos: FILMES FINOS; FEIXES; ALUMINA; RAIOS X
- Palavras-chave do autor: FEIXES IÔNICOS; CARACTERIZAÇÃO DE MATERIAIS
- Idioma: Português
- Resumo: Este trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar+. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e uxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos lmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, reetividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente e à 450 oC são amorfas independentemente da energia do feixe iônico. Filmes formados com assistência de feixe possuem qualidade superior àqueles formados por deposição física de vapor. O bombardeamento de íons Ar+ mostra-se capaz de controlar a concentração de hidrogênio, a estequiometria, a rugosidade, o tamanho dos grãos e a densidade dos lmes nos. Amostras com excelente qualidade baixa rugosidade, estequiometria próxima da ideal e boa densidade foram produzidas utilizando íons com energia dentre 300 eV e 600 eV.
- Imprenta:
- Data da defesa: 28.04.2017
-
ABNT
SANTOS, Thales Borrely dos. Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos. 2017. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/. Acesso em: 18 set. 2024. -
APA
Santos, T. B. dos. (2017). Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/ -
NLM
Santos TB dos. Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos [Internet]. 2017 ;[citado 2024 set. 18 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/ -
Vancouver
Santos TB dos. Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixes iônicos [Internet]. 2017 ;[citado 2024 set. 18 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/ - Probing conduction band offsets and confined states at 'GA'AS'/'GA''AS'N''BI' heterointerfaces
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