The end of Moore’s Law: alumina thin films produced by ion beam assisted deposition as gate oxide (2016)
- Authors:
- USP affiliated authors: MATSUOKA, MASAO - IF ; CHUBACI, JOSE FERNANDO DINIZ - IF
- School: IF
- Subjects: FÍSICA DA MATÉRIA CONDENSADA; FILMES FINOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Posters - Resumos
- Conference title: Encontro de Física
-
ABNT
BORRELY, Thales et al. The end of Moore’s Law: alumina thin films produced by ion beam assisted deposition as gate oxide. 2016, Anais.. São Paulo: SBF, 2016. Disponível em: http://www1.sbfisica.org.br/eventos/enf/2016/sys/resumos/R2116-1.pdf. Acesso em: 03 jul. 2022. -
APA
Borrely, T., Matsuoka, M., Chubaci, J. F. D., & Mendonça, B. J. (2016). The end of Moore’s Law: alumina thin films produced by ion beam assisted deposition as gate oxide. In Posters - Resumos. São Paulo: SBF. Recuperado de http://www1.sbfisica.org.br/eventos/enf/2016/sys/resumos/R2116-1.pdf -
NLM
Borrely T, Matsuoka M, Chubaci JFD, Mendonça BJ. The end of Moore’s Law: alumina thin films produced by ion beam assisted deposition as gate oxide [Internet]. Posters - Resumos. 2016 ;[citado 2022 jul. 03 ] Available from: http://www1.sbfisica.org.br/eventos/enf/2016/sys/resumos/R2116-1.pdf -
Vancouver
Borrely T, Matsuoka M, Chubaci JFD, Mendonça BJ. The end of Moore’s Law: alumina thin films produced by ion beam assisted deposition as gate oxide [Internet]. Posters - Resumos. 2016 ;[citado 2022 jul. 03 ] Available from: http://www1.sbfisica.org.br/eventos/enf/2016/sys/resumos/R2116-1.pdf - Filmes finos de oxidos(HfO2, CeO2, TiO2) para dispositivos eletrônicos fabricados por IBAD (Ions Beam Assisted for Deposition)
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