Desenvolvimento de dipositivos ópticos integrados (2009)
- Autor:
- Autor USP: CHÁVEZ, MARCO ISAÍAS ALAYO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: DISPOSITIVOS ÓPTICOS; ÓPTICA; MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho são simulados, fabricados e caracterizados diferentes dispositivos ópticos integrados, tais como: guias de onda anti-ressonantes (Anti-Resonant Reflecting Optical Waveguides, ARROW), filtros interferenciais baseados em compostos de silício, dispositivos Mach-Zehnder, chaves termo-eletro-ópticas e microlâmpadas incandescentes. Estes dispositivos são fabricados usando diversos materiais dielétricos tais como: óxido de silício (SiO2), oxinetreto de silício (SiOxNy), nitreto de silício (Si3N4), carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-SiC:H) e óxido de titânio (TiOx), todos eles depositados pelas Técnicas de Deposição Química Assistida por Plasma (PECVD) e Sputtering. Basicamente, este trabalho tem como objetivo principal contribuir com o desenvolvimento de dispositivos ópticos que permitam em um futuro próximo viabilizar a integração destes dispositivos com dispositivos microeletrônicos em um mesmo chip. Por esse motivo, estas estruturas ópticas são definidas geometricamente usando os mesmos processos e a mesma infra-estrutura comumente usada para a fabricação de dispositivos microeletrônicos
- Imprenta:
- Data da defesa: 25.11.2009
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ABNT
ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Desenvolvimento de dipositivos ópticos integrados. 2009. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-18052022-145052/. Acesso em: 27 set. 2024. -
APA
Alayo Chávez, M. I. (2009). Desenvolvimento de dipositivos ópticos integrados (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-18052022-145052/ -
NLM
Alayo Chávez MI. Desenvolvimento de dipositivos ópticos integrados [Internet]. 2009 ;[citado 2024 set. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-18052022-145052/ -
Vancouver
Alayo Chávez MI. Desenvolvimento de dipositivos ópticos integrados [Internet]. 2009 ;[citado 2024 set. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-18052022-145052/ - Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura
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