Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas (2003)
- Authors:
- Autor USP: PERES, HENRIQUE ESTANISLAU MALDONADO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: MICROELETRÔNICA; SILÍCIO; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Language: Português
- Abstract: Nesta tese são utilizados os recursos convencionais da tecnologia do silício estabelecida na Microeletrônica para contribuir ao desenvolvimento de sensores e microssistemas tendo em vista a permanente tendência de miniaturização e integração de dispositivos eletrônicos e mecânicos para aplicações em diversas áreas. Para isso, são revisados vários processos usuais para fabricação de micro-eletro-mecanismos e são desenvolvidos sistemas para aplicações específicas, tais como microssistemas para uso no campo da biologia celular, controle localizado de temperatura, sensores de gases e sistemas microeletromecânicos (MEMS) de um modo geral. Os microssistemas para aplicações biológicas se constituem de microestruturas para desenvolvimento de cultura de neurônios de invertebrados. Tais microestruturas incluem microeletrodos para a comunicação eletrônica e são adicionados dispositivos para controle de temperatura do meio de cultura. Para o controle localizado de temperatura foram desenvolvidos microssistemas com dispositivos para aquecimento (microaquecedores) e sensores térmicos integrados baseados em "termopilhas". Os sistemas para análises de gases incluem o desenvolvimento de câmaras e metodologias de ensaio, bem como a exploração de estruturas nanométricas de óxido de estanho dopado com aditivos como material sensor, visando o aumento da seletividade para determinados gases como o dióxido de enxofre e umidade relativa. Outra vertente desta tese é a exploração deuma promissora combinação inédita de processos de fabricação para a obtenção de membranas de silício utilizáveis em microestruturas. Tal combinação inclui o processo de implantação iônica de hidrogênio para "mascaramento" na formação do silício poroso em áreas pré-definidas, o qual pode ser usado como camada sacrificial para fabricação de MEMS.
- Imprenta:
- Data da defesa: 31.07.2003
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ABNT
PERES, Henrique Estanislau Maldonado. Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas. 2003. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27012025-090853/pt-br.php. Acesso em: 27 jan. 2026. -
APA
Peres, H. E. M. (2003). Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27012025-090853/pt-br.php -
NLM
Peres HEM. Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas [Internet]. 2003 ;[citado 2026 jan. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27012025-090853/pt-br.php -
Vancouver
Peres HEM. Contribuições ao desenvolvimento de sensores e microssistemas [Internet]. 2003 ;[citado 2026 jan. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27012025-090853/pt-br.php - Implantação iônica de hidrogênio em silício monocristalino
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