Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico (1990)
- Autor:
- Autor USP: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MATERIAIS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Spie
- Publisher place: Campinas
- Date published: 1990
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
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ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da. Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico. 1990, Anais.. Campinas: Sbmicro/Spie, 1990. . Acesso em: 14 fev. 2026. -
APA
Silva, M. L. P. da. (1990). Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico. In Anais. Campinas: Sbmicro/Spie. -
NLM
Silva MLP da. Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico. Anais. 1990 ;[citado 2026 fev. 14 ] -
Vancouver
Silva MLP da. Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico. Anais. 1990 ;[citado 2026 fev. 14 ] - Utilizacao da espectrometria de massa para estudo da corrosao por plasma em 'SI''O IND.2' por c'F IND.4'
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