Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana (2000)
- Authors:
- Autor USP: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
-
ABNT
NOGUEIRA, Sandrino e SILVA, Maria Lucia Pereira da. Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana. . São Paulo: EPUSP. . Acesso em: 02 out. 2024. , 2000 -
APA
Nogueira, S., & Silva, M. L. P. da. (2000). Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana. São Paulo: EPUSP. -
NLM
Nogueira S, Silva MLP da. Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana. 2000 ;[citado 2024 out. 02 ] -
Vancouver
Nogueira S, Silva MLP da. Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana. 2000 ;[citado 2024 out. 02 ] - Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria
- Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico
- Sistema Sn/Pb: impacto ambiental pelo uso de solda
- Uso de filme fino adsorvente para o desenvolvimento de sistemas de retenção de compostos orgânicos
- Utilizacao da espectrometria de massa para estudo da corrosao por plasma em 'SI''O IND.2' por c'F IND.4'
- Desenvolvimento de equipamento para analise de contaminantes em garrafas retornaveis
- Low pressure gas-phase ion / molecule reactions of teos and tmos
- Estudos de filmes finos de oxido de silicio depositados por r / pecvd
- Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica
- Análise de óxido de silício: identificação de compostos carbônicos. (em CD-Rom)
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas