@inproceedings{inproceedings5293e3be,
title   = {Corrosao de 'SI''O IND.2' por plasma de c'F IND.4': estudo espectroscopico},
author = {Silva, Maria Lucia Pereira da},
year = {1990},
publisher = {Sbmicro/Spie},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}