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Artigo de periodico
Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering (2000)
Mansano, Ronaldo Domingues ; Massi, Marcos; Zambom, Luís da Silva ; Verdonck, Patrick Bernard; Nogueira, P. M.; Maciel, H. S.; Otani, Choyu
Fonte: Thin Solid Films. Unidade: EP
Assunto: FILMES
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ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues et al. Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering. Thin Solid Films, n. 373, p. 243-246, 2000Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(00)01088-9. Acesso em: 26 ago. 2024.
APA
Mansano, R. D., Massi, M., Zambom, L. da S., Verdonck, P. B., Nogueira, P. M., Maciel, H. S., & Otani, C. (2000). Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering. Thin Solid Films, ( 373), 243-246. doi:10.1016/s0040-6090(00)01088-9
NLM
Mansano RD, Massi M, Zambom L da S, Verdonck PB, Nogueira PM, Maciel HS, Otani C. Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering [Internet]. Thin Solid Films. 2000 ;( 373): 243-246.[citado 2024 ago. 26 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(00)01088-9
Vancouver
Mansano RD, Massi M, Zambom L da S, Verdonck PB, Nogueira PM, Maciel HS, Otani C. Effects of the methane content on the characteristics of diamond-like carbon films produced by sputtering [Internet]. Thin Solid Films. 2000 ;( 373): 243-246.[citado 2024 ago. 26 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(00)01088-9
Artigo de periodico
Effects of plasma etching on DLC films (1999)
Massi, Marcos; Mansano, Ronaldo Domingues ; Maciel, Homero Santiago; Otani, C.; Verdonck, Patrick Bernard; Nishioka, L. N. B. M.
Fonte: Thin Solid Films. Unidade: EP
Assunto: PLASMA
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ABNT
MASSI, Marcos et al. Effects of plasma etching on DLC films. Thin Solid Films, n. 343-344, p. 381-384, 1999Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5. Acesso em: 26 ago. 2024.
APA
Massi, M., Mansano, R. D., Maciel, H. S., Otani, C., Verdonck, P. B., & Nishioka, L. N. B. M. (1999). Effects of plasma etching on DLC films. Thin Solid Films, ( 343-344), 381-384. doi:10.1016/s0040-6090(98)01691-5
NLM
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Effects of plasma etching on DLC films [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ;( 343-344): 381-384.[citado 2024 ago. 26 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5
Vancouver
Massi M, Mansano RD, Maciel HS, Otani C, Verdonck PB, Nishioka LNBM. Effects of plasma etching on DLC films [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ;( 343-344): 381-384.[citado 2024 ago. 26 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01691-5
Artigo de periodico
LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas (1999)
Zambom, Luís da Silva ; Mansano, Ronaldo Domingues ; Furlan, Rogério ; Verdonck, Patrick Bernard
Fonte: Thin Solid Films. Unidade: EP
Assunto: FILMES FINOS
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ABNT
ZAMBOM, Luís da Silva et al. LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas. Thin Solid Films, v. 343-344, p. 299-301, 1999Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01587-9. Acesso em: 26 ago. 2024.
APA
Zambom, L. da S., Mansano, R. D., Furlan, R., & Verdonck, P. B. (1999). LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas. Thin Solid Films, 343-344, 299-301. doi:10.1016/s0040-6090(98)01587-9
NLM
Zambom L da S, Mansano RD, Furlan R, Verdonck PB. LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ; 343-344 299-301.[citado 2024 ago. 26 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01587-9
Vancouver
Zambom L da S, Mansano RD, Furlan R, Verdonck PB. LPCVD deposition of silicon nitride assisted by high density plasmas [Internet]. Thin Solid Films. 1999 ; 343-344 299-301.[citado 2024 ago. 26 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01587-9

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