Pedestal architecture to manufacture TeO2-ZnO waveguides for the development of photonic devices to operate in the infrared region (2022)
- Authors:
- USP affiliated authors: CHÁVEZ, MARCO ISAÍAS ALAYO - EP ; DELBONI, FILIPE DE OLIVEIRA PEREIRA - EP ; KUMADA, DANIEL KENDJI - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1109/SBMICRO55822.2022.9880965
- Subjects: MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA; PLASMA (MICROELETRÔNICA); DISPOSITIVOS ÓPTICOS
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: IEEE
- Publisher place: Piscataway
- Date published: 2022
- Source:
- Título: SBMICRO
- Conference titles: Symposium on Microelectronics Technology (SBMICRO)
- Status:
- Nenhuma versão em acesso aberto identificada
-
ABNT
DELBONI, Filipe de Oliveira Pereira et al. Pedestal architecture to manufacture TeO2-ZnO waveguides for the development of photonic devices to operate in the infrared region. 2022, Anais.. Piscataway: IEEE, 2022. Disponível em: http://dx.doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9880965. Acesso em: 08 abr. 2026. -
APA
Delboni, F. de O. P., Kumada, D. K., Alayo Chávez, M. I., & Kassab, L. R. P. (2022). Pedestal architecture to manufacture TeO2-ZnO waveguides for the development of photonic devices to operate in the infrared region. In SBMICRO. Piscataway: IEEE. doi:10.1109/SBMICRO55822.2022.9880965 -
NLM
Delboni F de OP, Kumada DK, Alayo Chávez MI, Kassab LRP. Pedestal architecture to manufacture TeO2-ZnO waveguides for the development of photonic devices to operate in the infrared region [Internet]. SBMICRO. 2022 ;[citado 2026 abr. 08 ] Available from: http://dx.doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9880965 -
Vancouver
Delboni F de OP, Kumada DK, Alayo Chávez MI, Kassab LRP. Pedestal architecture to manufacture TeO2-ZnO waveguides for the development of photonic devices to operate in the infrared region [Internet]. SBMICRO. 2022 ;[citado 2026 abr. 08 ] Available from: http://dx.doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9880965 - Utilização da arquitetura pedestal para fabricação de guias de onda com ilhas de ouro visando desenvolvimento de dispositivos fotônicos que operem na região do infravermelho
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