Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach (2012)
- Authors:
- USP affiliated authors: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP ; COLOMBO, FÁBIO BELOTTI - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/04901.0297ecst
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2012
- Source:
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
-
ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti e PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach. 2012, Anais.. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 2012. Disponível em: https://doi.org/10.1149/04901.0297ecst. Acesso em: 23 jan. 2026. -
APA
Colombo, F. B., & Páez Carreño, M. N. (2012). Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach. In Microelectronics technology and devices, SBMicro. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo. doi:10.1149/04901.0297ecst -
NLM
Colombo FB, Páez Carreño MN. Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0297ecst -
Vancouver
Colombo FB, Páez Carreño MN. Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0297ecst - A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata
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Informações sobre o DOI: 10.1149/04901.0297ecst (Fonte: oaDOI API)
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