Electrochemical electrodes based on laser induced graphene on PECVD a-SiC:H and polyimide (2022)
- Authors:
- USP affiliated authors: BERTOTTI, MAURO - IQ ; CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP ; PEREYRA, INÊS - EP ; PINTO, ALINE LEONE MUGUET - IQ
- Unidades: IQ; EP
- DOI: 10.1109/SBMICRO55822.2022.9881043
- Assunto: ELETROQUÍMICA
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: IEEE
- Publisher place: Piscataway
- Date published: 2022
- Conference titles: Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMicro
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
-
ABNT
FARIA, D. J et al. Electrochemical electrodes based on laser induced graphene on PECVD a-SiC:H and polyimide. 2022, Anais.. Piscataway: IEEE, 2022. Disponível em: https://doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9881043. Acesso em: 25 jan. 2026. -
APA
Faria, D. J., Pinto, A. L. M., Bertotti, M., Carreño, M. N. P., & Pereyra, I. (2022). Electrochemical electrodes based on laser induced graphene on PECVD a-SiC:H and polyimide. In . Piscataway: IEEE. doi:10.1109/SBMICRO55822.2022.9881043 -
NLM
Faria DJ, Pinto ALM, Bertotti M, Carreño MNP, Pereyra I. Electrochemical electrodes based on laser induced graphene on PECVD a-SiC:H and polyimide [Internet]. 2022 ;[citado 2026 jan. 25 ] Available from: https://doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9881043 -
Vancouver
Faria DJ, Pinto ALM, Bertotti M, Carreño MNP, Pereyra I. Electrochemical electrodes based on laser induced graphene on PECVD a-SiC:H and polyimide [Internet]. 2022 ;[citado 2026 jan. 25 ] Available from: https://doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9881043 - Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício
- A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
- Wide gap a-Sil-Cx:H thin films obtained under starving plasm deposition conditions
- Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films
- 3D topography in self-sustained membranes of SiOxNy obtained by PECVD technique at low temperatures
- Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H
- Photocurrent oscillations in a-sic: h double barrier devices exhibiting negative differential resistance
- Caracterização elétrica de contatos de Al, Ni e Ti em filmes cristalizados de SiC obtidos por PECVD
- Starving plasma effect on pecvd hydrogenated amorphous silicon carbide
- Development of microneedles for real-time monitoring of in vivo pH
Informações sobre o DOI: 10.1109/SBMICRO55822.2022.9881043 (Fonte: oaDOI API)
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
