Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films (2003)
- Authors:
- Autor USP: MANSANO, RONALDO DOMINGUES - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1016/s0925-9635(02)00219-4
- Assunto: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Diamond and Related Materials
- ISSN: 0925-9635
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 12, n. 3-7, p. 1041-1044, March/July 2003
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
MOUSINHO, Ana Paula et al. Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films. Diamond and Related Materials, v. 12, n. 3-7, p. 1041-1044, 2003Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/s0925-9635(02)00219-4. Acesso em: 04 nov. 2024. -
APA
Mousinho, A. P., Mansano, R. D., Massi, M., & Jaramillo Ocampo, J. M. (2003). Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films. Diamond and Related Materials, 12( 3-7), 1041-1044. doi:10.1016/s0925-9635(02)00219-4 -
NLM
Mousinho AP, Mansano RD, Massi M, Jaramillo Ocampo JM. Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films [Internet]. Diamond and Related Materials. 2003 ; 12( 3-7): 1041-1044.[citado 2024 nov. 04 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0925-9635(02)00219-4 -
Vancouver
Mousinho AP, Mansano RD, Massi M, Jaramillo Ocampo JM. Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films [Internet]. Diamond and Related Materials. 2003 ; 12( 3-7): 1041-1044.[citado 2024 nov. 04 ] Available from: https://doi.org/10.1016/s0925-9635(02)00219-4 - Deposition and characterization of indium-tin oxide thin films deposited by RF sputtering
- Estudo e desenvolvimento de processos de deposição por plasma de filmes de carbono amorfo hidrogenado (Diamond Like Carbon - DLC)
- High density plasma chemical vapor deposition of diamond-like carbon films
- Ion implantation in titanium dioxide thin films studied by perturbed angular correlations
- Implantation of cobalt in SnO2 thin films studied by TDPAC
- Low Pressure Plasma Study for Platinum Nanoparticles Synthesis
- Generation and characterization of polymeric tridimentional microstructure for micromachine application
- Corrosão de silício por plasma para aplicação em microcanais
- Physical characterization of plasma deposited polymeric proton exchange membrane used in fuel cells
- Temperature Modulated Nanomechanical Thermal Analysis
Informações sobre o DOI: 10.1016/s0925-9635(02)00219-4 (Fonte: oaDOI API)
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
