Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process (2002)
- Authors:
- USP affiliated authors: GALEAZZO, ELISABETE - EP ; FERNANDEZ, FRANCISCO JAVIER RAMIREZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: IEEE
- Publisher place: Piscataway
- Date published: 2002
- ISBN: 0-7803-7454-1
- Source:
- Título: Proceedings
- Conference titles: Conference on Sensors
-
ABNT
DANTAS, M. O. S. et al. Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process. 2002, Anais.. Piscataway: IEEE, 2002. . Acesso em: 01 nov. 2024. -
APA
Dantas, M. O. S., Galeazzo, E., Pees, H. E. M., & Ramírez Fernandez, F. J. (2002). Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process. In Proceedings. Piscataway: IEEE. -
NLM
Dantas MOS, Galeazzo E, Pees HEM, Ramírez Fernandez FJ. Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process. Proceedings. 2002 ;[citado 2024 nov. 01 ] -
Vancouver
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