Determinacao de parametros de processo para fotomascara balzers utilizando gerador de padroes (1996)
- Authors:
- USP affiliated authors: SAITO, MEGUMI - EP ; SEKI, JORGE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: Boletim Tecnico da Escola Politecnica da USP. Departamento de Engenharia Eletronica
- ISSN: 1413-2206
- Volume/Número/Paginação/Ano: n.09, 1996
-
ABNT
SEKI, Jorge e SAITO, Megumi. Determinacao de parametros de processo para fotomascara balzers utilizando gerador de padroes. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da USP. Departamento de Engenharia Eletronica, n. 09, 1996Tradução . . Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/89857abb-fdae-4fea-a07f-3e56d85e452c/BT-PEE-09_96_251022_091758.pdf. Acesso em: 01 mar. 2026. -
APA
Seki, J., & Saito, M. (1996). Determinacao de parametros de processo para fotomascara balzers utilizando gerador de padroes. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da USP. Departamento de Engenharia Eletronica, (09). Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/89857abb-fdae-4fea-a07f-3e56d85e452c/BT-PEE-09_96_251022_091758.pdf -
NLM
Seki J, Saito M. Determinacao de parametros de processo para fotomascara balzers utilizando gerador de padroes [Internet]. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da USP. Departamento de Engenharia Eletronica. 1996 ;(09):[citado 2026 mar. 01 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/89857abb-fdae-4fea-a07f-3e56d85e452c/BT-PEE-09_96_251022_091758.pdf -
Vancouver
Seki J, Saito M. Determinacao de parametros de processo para fotomascara balzers utilizando gerador de padroes [Internet]. Boletim Tecnico da Escola Politecnica da USP. Departamento de Engenharia Eletronica. 1996 ;(09):[citado 2026 mar. 01 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/89857abb-fdae-4fea-a07f-3e56d85e452c/BT-PEE-09_96_251022_091758.pdf - Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'
- Desenvolvimento de técnica de confecção de fotomáscaras/retículos usando gerador de padrões
- Projeto e construção de diodos schottky para aplicação em micro-ondas
- Desenvolvimento da tecnologia de construção de MESFET de GaAs para aplicação em microondas
- Modelamento físico do sistema heteroestrutura-metal
- Desenvolvimento da tecnologia de construção de mesfet de gaas para aplicação em microondas
- Desenvolvimento de capacitores mom
- Resistor em filme fino
- Crescimento e caracterização elétrica de heteroestruturas utilizadas na fabricação de dispositivos HEMTs. (em CD-Rom)
- Misturador balanceado para banda C com acoplador monolítico em GaAs
Download do texto completo
| Tipo | Nome | Link | |
|---|---|---|---|
 |
BT-PEE-09_96_251022_09175... | Direct link |
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
