Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS' (1994)
- Authors:
- USP affiliated authors: PEREIRA, JOSE AUGUSTO DE ALENCAR MENDES - EP ; SAITO, MEGUMI - EP ; SEKI, JORGE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrj
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
SEKI, Jorge e PEREIRA, Jose Augusto de Alencar Mendes e SAITO, Megumi. Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 01 mar. 2026. -
APA
Seki, J., Pereira, J. A. de A. M., & Saito, M. (1994). Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj. -
NLM
Seki J, Pereira JA de AM, Saito M. Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. Anais. 1994 ;[citado 2026 mar. 01 ] -
Vancouver
Seki J, Pereira JA de AM, Saito M. Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. Anais. 1994 ;[citado 2026 mar. 01 ] - Determinacao de parametros de processo para fotomascara balzers utilizando gerador de padroes
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