Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino (1993)
- Authors:
- USP affiliated authors: FURLAN, ROGERIO - EP ; SILVA, ANA NEILDE RODRIGUES DA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
SILVA, Ana Neilde Rodrigues da e FURLAN, Rogério. Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 29 dez. 2025. -
APA
Silva, A. N. R. da, & Furlan, R. (1993). Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Silva ANR da, Furlan R. Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. Anais. 1993 ;[citado 2025 dez. 29 ] -
Vancouver
Silva ANR da, Furlan R. Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. Anais. 1993 ;[citado 2025 dez. 29 ] - Formação do siliceto de titânio pela deposição de uma dupla camada de 'SI'-a / 'TI' visando a utilização em linhas de interconexão local
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