Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino (1993)
- Authors:
- USP affiliated authors: FURLAN, ROGERIO - EP ; SILVA, ANA NEILDE RODRIGUES DA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
SILVA, Ana Neilde Rodrigues da e FURLAN, Rogério. Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 13 fev. 2026. -
APA
Silva, A. N. R. da, & Furlan, R. (1993). Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Silva ANR da, Furlan R. Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. Anais. 1993 ;[citado 2026 fev. 13 ] -
Vancouver
Silva ANR da, Furlan R. Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino. Anais. 1993 ;[citado 2026 fev. 13 ] - Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio
- Formação do siliceto de titânio pela deposição de uma dupla camada de 'SI'-a / 'TI' visando a utilização em linhas de interconexão local
- Fabrication process of free-standing polysilicon microfilaments using PECVD silicon oxide as a sacrificial layer
- Estudo da formação do siliceto de titânio obtido pela reação de filmes finos de titânio com silício policristalino e com silício amorfo
- Estudo e caracterização do processo PECVD-TEOS para a deposição de filmes de óxido de silício e estudo das interfaces
- Dip Pen nanolithography using a polyacrylonitrile based ink
- PECVD SiO2 sacrificial layers for fabrication of free-standing polysilicon filaments. (em CD-Rom)
- Analysis of microbeam deflection due to capillary loading
- Estudo da formação e das caraterísticas de contatos 'AL'/'TI'w/'TI''SI IND.2' sobre junções rasas com aplicação da técnica AES
- Redistribuição de arsênio durante a formação do disiliceto de cobalto em duas etapas térmicas
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
