Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd (1995)
Unidade: EPAssunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
ABNT
ZAMBOM, Luís da Silva e HASENACK, Claus Martin. Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. . São Paulo: Epusp. . Acesso em: 15 nov. 2025. , 1995APA
Zambom, L. da S., & Hasenack, C. M. (1995). Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. São Paulo: Epusp.NLM
Zambom L da S, Hasenack CM. Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. 1995 ;[citado 2025 nov. 15 ]Vancouver
Zambom L da S, Hasenack CM. Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. 1995 ;[citado 2025 nov. 15 ]
