Source: Anais. Conference titles: Simposio Brasileiro de Microscopia Eletronica e Tecnicas Associadas a Pesquisa de Materiais. Unidades: IFSC, IFQSC
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
ABNT
SILVA, Marcelo de Assumpção Pereira da et al. Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. 1994, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica, 1994. . Acesso em: 16 out. 2024.APA
Silva, M. de A. P. da, Nastaushev, Y. V., Rossi, J. C., Basmaji, P., Gusev, G. M., & Aegerter, M. A. (1994). Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. In Anais. São Paulo: Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica.NLM
Silva M de AP da, Nastaushev YV, Rossi JC, Basmaji P, Gusev GM, Aegerter MA. Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. Anais. 1994 ;[citado 2024 out. 16 ]Vancouver
Silva M de AP da, Nastaushev YV, Rossi JC, Basmaji P, Gusev GM, Aegerter MA. Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. Anais. 1994 ;[citado 2024 out. 16 ]