Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons (1994)
- Authors:
- USP affiliated authors: SILVA, MARCELO DE ASSUMPCAO PEREIRA DA - IFSC ; BASMAJI, PIERRE - IFQSC ; AEGERTER, MICHEL ANDRE - IFSC
- Unidades: IFSC; IFQSC
- Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1994
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Simposio Brasileiro de Microscopia Eletronica e Tecnicas Associadas a Pesquisa de Materiais
-
ABNT
SILVA, Marcelo de Assumpção Pereira da et al. Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. 1994, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica, 1994. . Acesso em: 05 out. 2024. -
APA
Silva, M. de A. P. da, Nastaushev, Y. V., Rossi, J. C., Basmaji, P., Gusev, G. M., & Aegerter, M. A. (1994). Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. In Anais. São Paulo: Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica. -
NLM
Silva M de AP da, Nastaushev YV, Rossi JC, Basmaji P, Gusev GM, Aegerter MA. Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. Anais. 1994 ;[citado 2024 out. 05 ] -
Vancouver
Silva M de AP da, Nastaushev YV, Rossi JC, Basmaji P, Gusev GM, Aegerter MA. Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons. Anais. 1994 ;[citado 2024 out. 05 ] - Geracao de mascaras em escala nanometrica e micrometrica para estudo de propriedades superficiais em materiais
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