Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas (1993)
Unidade: EPAssunto: CORROSÃO
ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues. Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas. 1993. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1993. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/. Acesso em: 03 out. 2024.APA
Mansano, R. D. (1993). Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/NLM
Mansano RD. Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas [Internet]. 1993 ;[citado 2024 out. 03 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/Vancouver
Mansano RD. Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas [Internet]. 1993 ;[citado 2024 out. 03 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/