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  • Dissertação (Mestrado)

    Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas (1993)

    Mansano, Ronaldo Domingues ; Maciel, Homero Santiago (Orientador)

    Unidade: EP

    Assunto: CORROSÃO

    Acesso à fonteHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      MANSANO, Ronaldo Domingues. Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas. 1993. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1993. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/. Acesso em: 23 jul. 2024.

    • APA

      Mansano, R. D. (1993). Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/

    • NLM

      Mansano RD. Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas [Internet]. 1993 ;[citado 2024 jul. 23 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/

    • Vancouver

      Mansano RD. Corrosão de resistes por plasma para aplicação em litografia de multicamadas [Internet]. 1993 ;[citado 2024 jul. 23 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-14062022-090027/

  • Trabalho de evento-resumo

    Obtencao de um processo de litografia de multicamadas (1993)

    Mansano, Ronaldo Domingues ; Yunaka, N T; Verdonck, Patrick Bernard; Maciel, H. S.

    Source: Resumos. Conference titles: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia. Unidade: EP

    Assunto: SEMICONDUTORES

    How to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      MANSANO, Ronaldo Domingues et al. Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. 1993, Anais.. Recife: Ufpe, 1993. . Acesso em: 23 jul. 2024.

    • APA

      Mansano, R. D., Yunaka, N. T., Verdonck, P. B., & Maciel, H. S. (1993). Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. In Resumos. Recife: Ufpe.

    • NLM

      Mansano RD, Yunaka NT, Verdonck PB, Maciel HS. Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. Resumos. 1993 ;[citado 2024 jul. 23 ]

    • Vancouver

      Mansano RD, Yunaka NT, Verdonck PB, Maciel HS. Obtencao de um processo de litografia de multicamadas. Resumos. 1993 ;[citado 2024 jul. 23 ]
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