Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films (2004)
Source: Program. Conference titles: Encontro da SBPMat. Unidades: IF, EP
Subjects: MATERIAIS, FILMES FINOS, ESPECTROSCOPIA DE RAIO X
ABNT
CRIADO, Denise et al. Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films. 2004, Anais.. São Carlos: SBPMat, 2004. Disponível em: http://www.sbpmat.org.br/3meeting/simposio_b.pdf. Acesso em: 28 ago. 2024.APA
Criado, D., Alayo Chávez, M. I., Pereyra, I., & Fantini, M. C. de A. (2004). Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films. In Program. São Carlos: SBPMat. Recuperado de http://www.sbpmat.org.br/3meeting/simposio_b.pdfNLM
Criado D, Alayo Chávez MI, Pereyra I, Fantini MC de A. Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films [Internet]. Program. 2004 ;[citado 2024 ago. 28 ] Available from: http://www.sbpmat.org.br/3meeting/simposio_b.pdfVancouver
Criado D, Alayo Chávez MI, Pereyra I, Fantini MC de A. Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films [Internet]. Program. 2004 ;[citado 2024 ago. 28 ] Available from: http://www.sbpmat.org.br/3meeting/simposio_b.pdf