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  • Trabalho de evento

    Deposicao e caracterizacao de silicio policristalino depositado por lpcvd a partir de silana (1993)

    Pedrine, Antonio Giacomo; Hasenack, Claus Martin; Lopes, M C V

    Source: Anais. Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica. Unidade: EP

    Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS

    How to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      PEDRINE, Antonio Giacomo e HASENACK, Claus Martin e LOPES, M C V. Deposicao e caracterizacao de silicio policristalino depositado por lpcvd a partir de silana. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 29 abr. 2026.

    • APA

      Pedrine, A. G., Hasenack, C. M., & Lopes, M. C. V. (1993). Deposicao e caracterizacao de silicio policristalino depositado por lpcvd a partir de silana. In Anais. Campinas: Sbmicro.

    • NLM

      Pedrine AG, Hasenack CM, Lopes MCV. Deposicao e caracterizacao de silicio policristalino depositado por lpcvd a partir de silana. Anais. 1993 ;[citado 2026 abr. 29 ]

    • Vancouver

      Pedrine AG, Hasenack CM, Lopes MCV. Deposicao e caracterizacao de silicio policristalino depositado por lpcvd a partir de silana. Anais. 1993 ;[citado 2026 abr. 29 ]

  • Dissertação (Mestrado)

    Deposição de silício policristalino por LPCVD (1993)

    Pedrine, Antonio Giacomo; Hasenack, Claus Martin (Orientador)

    Unidade: EP

    Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA

    Acesso à fonteHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      PEDRINE, Antonio Giacomo. Deposição de silício policristalino por LPCVD. 1993. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1993. Disponível em: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122024-152603/. Acesso em: 29 abr. 2026.

    • APA

      Pedrine, A. G. (1993). Deposição de silício policristalino por LPCVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122024-152603/

    • NLM

      Pedrine AG. Deposição de silício policristalino por LPCVD [Internet]. 1993 ;[citado 2026 abr. 29 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122024-152603/

    • Vancouver

      Pedrine AG. Deposição de silício policristalino por LPCVD [Internet]. 1993 ;[citado 2026 abr. 29 ] Available from: https://teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122024-152603/
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