Deposicao de silicio policristalino por lpcvd

Deposicao de silicio policristalino por lpcvd (1993)

Authors:
- Pedrine, Antonio Giacomo
- Hasenack, Claus Martin (Orientador)
Autor USP: PEDRINE, ANTONIO GIACOMO - EP
Unidade: EP
Sigla do Departamento: PEE
Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
Language: Português
Abstract: Neste trabalho apresentamos o processo de deposicao de silicio policristalino por lpcvd (low pressure chemical vapor deposition) utilizando nitrogenio como gas carregador. Para caracterizacao do processo, obtivemos inicialmente a relacao entre fracao molar de silana e taxa de deposicao do filme. Com esse resultado, pudemos notar a pequena influencia do processo de difusao de massa. Atraves de fotomicrografias de forca atomica e varredura, pudemos acessar a influencia da fracao molar de silana na rugosidade superficial do filme. Analises por difracao de raios-x mostraram que o filme exibe as seguintes orientacoes cristalograficas preferenciais: (110), (111), (311) e (331). Atraves de fotomicrografias de forca atomica verificou-se que o tamanho de grao para filmes de espessura 0,5 micrometros possui tamanho de grao variando de 100 a 240 nanometros (valores proximos dos obtidos atraves de medidas de raios-x). Verificou-se tambem a estrutura colunar do filme.
Imprenta:
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1993
Data da defesa: 25.10.1993

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ABNT

PEDRINE, Antonio Giacomo; HASENACK, Claus Martin. Deposicao de silicio policristalino por lpcvd. 1993.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1993.
APA

Pedrine, A. G., & Hasenack, C. M. (1993). Deposicao de silicio policristalino por lpcvd. Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM

Pedrine AG, Hasenack CM. Deposicao de silicio policristalino por lpcvd. 1993 ;
Vancouver

Pedrine AG, Hasenack CM. Deposicao de silicio policristalino por lpcvd. 1993 ;