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  • Trabalho de evento

    Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model (2008)

    Oliveira Junior, Jose Pinto de; Paez Carreño, Marcelo Nelson

    Fonte: SBMICRO 2008: Anais. Nome do evento: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO. Unidade: EP

    Assunto: MICROELETRÔNICA

    Acesso à fonteDOIComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      OLIVEIRA JUNIOR, Jose Pinto de e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model. 2008, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. Disponível em: https://doi.org/10.1149/1.2956015. Acesso em: 17 out. 2024.

    • APA

      Oliveira Junior, J. P. de, & Paez Carreño, M. N. (2008). Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society. doi:10.1149/1.2956015

    • NLM

      Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model [Internet]. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2024 out. 17 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2956015

    • Vancouver

      Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulation of anisotropic etching of silicon using a cellular automata model [Internet]. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2024 out. 17 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2956015

  • Trabalho de evento-resumo

    Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS (2005)

    Oliveira Junior, Jose Pinto de; Paez Carreño, Marcelo Nelson

    Fonte: SIICUSP 2005 : resumos. Nome do evento: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo. Unidade: EP

    Assuntos: SILÍCIO, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      OLIVEIRA JUNIOR, Jose Pinto de e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS. 2005, Anais.. São Paulo: Universidade de São Paulo, 2005. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm. Acesso em: 17 out. 2024.

    • APA

      Oliveira Junior, J. P. de, & Paez Carreño, M. N. (2005). Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS. In SIICUSP 2005 : resumos. São Paulo: Universidade de São Paulo. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm

    • NLM

      Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 out. 17 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm

    • Vancouver

      Oliveira Junior JP de, Paez Carreño MN. Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS [Internet]. SIICUSP 2005 : resumos. 2005 ;[citado 2024 out. 17 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm
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