Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica (1994)
Fonte: Anais. Nome do evento: Congresso Brasileiro de Ceramica. Unidade: IFSC
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
ABNT
SILVA, Marcelo de Assumpção Pereira da et al. Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica. 1994, Anais.. São Paulo: Associacao Brasileira de Ceramica, 1994. . Acesso em: 27 jun. 2024.APA
Silva, M. de A. P. da, Nastaushev, Y. V., Basmaji, P., Rossi, J. C., & Aegerter, M. A. (1994). Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica. In Anais. São Paulo: Associacao Brasileira de Ceramica.NLM
Silva M de AP da, Nastaushev YV, Basmaji P, Rossi JC, Aegerter MA. Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica. Anais. 1994 ;[citado 2024 jun. 27 ]Vancouver
Silva M de AP da, Nastaushev YV, Basmaji P, Rossi JC, Aegerter MA. Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica. Anais. 1994 ;[citado 2024 jun. 27 ]