Subjects: ESTRUTURA ATÔMICA (QUÍMICA TEÓRICA), MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA, FILMES FINOS
ABNT
SCOPEL, Wanderlã Luis. Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD. 2002. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. . Acesso em: 02 ago. 2024.APA
Scopel, W. L. (2002). Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Scopel WL. Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD. 2002 ;[citado 2024 ago. 02 ]Vancouver
Scopel WL. Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD. 2002 ;[citado 2024 ago. 02 ]