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Artigo de periodico
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD (2004)
Criado, Denise ; Alayo Chávez, Marco Isaías ; Pereyra, Inés ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu
Source: Materials Science and Engineering B. Unidades: IF, EP
Subjects: MATERIAIS, MATÉRIA CONDENSADA, FILMES FINOS, FÍSICA DE PLASMAS
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ABNT
CRIADO, Denise et al. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD. Materials Science and Engineering B, 2004Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.017. Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Criado, D., Alayo Chávez, M. I., Pereyra, I., & Fantini, M. C. de A. (2004). Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD. Materials Science and Engineering B. doi:10.1016/j.mseb.2004.05.017
NLM
Criado D, Alayo Chávez MI, Pereyra I, Fantini MC de A. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jun. 20 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.017
Vancouver
Criado D, Alayo Chávez MI, Pereyra I, Fantini MC de A. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jun. 20 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.017
Artigo de periodico
Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films (2004)
Pereyra, Inés ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Alayo Chávez, Marco Isaías ; Oliveira, R A R; Ribeiro, M; Scopel, Wanderla Luis
Source: Materials Science and Engineering B. Unidades: IF, EP
Subjects: MATERIAIS, MATÉRIA CONDENSADA, FOTOLUMINESCÊNCIA
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ABNT
PEREYRA, Inés et al. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films. Materials Science and Engineering B, 2004Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.015. Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Pereyra, I., Fantini, M. C. de A., Alayo Chávez, M. I., Oliveira, R. A. R., Ribeiro, M., & Scopel, W. L. (2004). Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films. Materials Science and Engineering B. doi:10.1016/j.mseb.2004.05.015
NLM
Pereyra I, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Oliveira RAR, Ribeiro M, Scopel WL. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jun. 20 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.015
Vancouver
Pereyra I, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Oliveira RAR, Ribeiro M, Scopel WL. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jun. 20 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.015
Trabalho de evento-resumo
Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico (2003)
Scopel, Wanderla Luis ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Alayo Chávez, Marco Isaías ; Pereyra, Inés
Source: Resumos. Conference titles: Reunião Anual de Usuários do LNLS. Unidades: IF, EP
Subjects: MATÉRIA CONDENSADA, INSTRUMENTAÇÃO (FÍSICA), LUZ
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ABNT
SCOPEL, Wanderla Luis et al. Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico. 2003, Anais.. Campinas: Laboratório Nacional de Luz Sincrotron, 2003. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Scopel, W. L., Fantini, M. C. de A., Alayo Chávez, M. I., & Pereyra, I. (2003). Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico. In Resumos. Campinas: Laboratório Nacional de Luz Sincrotron.
NLM
Scopel WL, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Pereyra I. Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico. Resumos. 2003 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Scopel WL, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Pereyra I. Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico. Resumos. 2003 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento-resumo
Distribuicao de poros em 'A-SI IND.1-X''c ind.X: h' obtido por pecvd (1996)
Prado, Rogerio Junqueira; Bittencourt, Diomar da Rocha Santos; Tabacniks, Manfredo Harri ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Paez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés
Source: Resumos. Conference titles: Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada. Unidades: IF, EP
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
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ABNT
PRADO, Rogerio Junqueira et al. Distribuicao de poros em 'A-SI IND.1-X''c ind.X: h' obtido por pecvd. 1996, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica, 1996. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Prado, R. J., Bittencourt, D. da R. S., Tabacniks, M. H., Fantini, M. C. de A., Paez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (1996). Distribuicao de poros em 'A-SI IND.1-X''c ind.X: h' obtido por pecvd. In Resumos. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica.
NLM
Prado RJ, Bittencourt D da RS, Tabacniks MH, Fantini MC de A, Paez Carreño MN, Pereyra I. Distribuicao de poros em 'A-SI IND.1-X''c ind.X: h' obtido por pecvd. Resumos. 1996 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Prado RJ, Bittencourt D da RS, Tabacniks MH, Fantini MC de A, Paez Carreño MN, Pereyra I. Distribuicao de poros em 'A-SI IND.1-X''c ind.X: h' obtido por pecvd. Resumos. 1996 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento-resumo
Analise do espectro vibracional de ligas de silicio-carbono de composicao variavel (1996)
Prado, Rogerio Junqueira; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Tabacniks, Manfredo Harri ; Pereyra, Inés ; Paez Carreño, Marcelo Nelson
Source: Resumos. Conference titles: Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada. Unidades: IF, EP
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
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ABNT
PRADO, Rogerio Junqueira et al. Analise do espectro vibracional de ligas de silicio-carbono de composicao variavel. 1996, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica, 1996. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Prado, R. J., Fantini, M. C. de A., Tabacniks, M. H., Pereyra, I., & Paez Carreño, M. N. (1996). Analise do espectro vibracional de ligas de silicio-carbono de composicao variavel. In Resumos. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica.
NLM
Prado RJ, Fantini MC de A, Tabacniks MH, Pereyra I, Paez Carreño MN. Analise do espectro vibracional de ligas de silicio-carbono de composicao variavel. Resumos. 1996 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Prado RJ, Fantini MC de A, Tabacniks MH, Pereyra I, Paez Carreño MN. Analise do espectro vibracional de ligas de silicio-carbono de composicao variavel. Resumos. 1996 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Artigo de periodico
On the structural properties of a-'SI IND.1-X' 'c ind.X: h' thin films (1996)
Mastelaro, Valmor Roberto; Flank, A M; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Bittencourt, Diomar da Rocha Santos; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés
Source: Journal of Applied Physics. Unidades: IF, EP
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
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ABNT
MASTELARO, Valmor Roberto et al. On the structural properties of a-'SI IND.1-X' 'c ind.X: h' thin films. Journal of Applied Physics, v. 79, n. 3 , p. 1324-9, 1996Tradução . . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Mastelaro, V. R., Flank, A. M., Fantini, M. C. de A., Bittencourt, D. da R. S., Páez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (1996). On the structural properties of a-'SI IND.1-X' 'c ind.X: h' thin films. Journal of Applied Physics, 79( 3 ), 1324-9.
NLM
Mastelaro VR, Flank AM, Fantini MC de A, Bittencourt D da RS, Páez Carreño MN, Pereyra I. On the structural properties of a-'SI IND.1-X' 'c ind.X: h' thin films. Journal of Applied Physics. 1996 ;79( 3 ): 1324-9.[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Mastelaro VR, Flank AM, Fantini MC de A, Bittencourt D da RS, Páez Carreño MN, Pereyra I. On the structural properties of a-'SI IND.1-X' 'c ind.X: h' thin films. Journal of Applied Physics. 1996 ;79( 3 ): 1324-9.[citado 2024 jun. 20 ]
Artigo de periodico
Effect of plasma etching, carbon concentration, and buffer layer on the properties of a-'SI': h / a-'SI IND.1-X''C IND.X' : h multilayers (1994)
Velasquez, E L Z; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés ; Takahashi, H; Landers, R
Source: Journal of Applied Physics. Unidades: EP, IF
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
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ABNT
VELASQUEZ, E L Z et al. Effect of plasma etching, carbon concentration, and buffer layer on the properties of a-'SI': h / a-'SI IND.1-X''C IND.X' : h multilayers. Journal of Applied Physics, v. 75, n. ja 1994, p. 543-8, 1994Tradução . . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Velasquez, E. L. Z., Fantini, M. C. de A., Páez Carreño, M. N., Pereyra, I., Takahashi, H., & Landers, R. (1994). Effect of plasma etching, carbon concentration, and buffer layer on the properties of a-'SI': h / a-'SI IND.1-X''C IND.X' : h multilayers. Journal of Applied Physics, 75( ja 1994), 543-8.
NLM
Velasquez ELZ, Fantini MC de A, Páez Carreño MN, Pereyra I, Takahashi H, Landers R. Effect of plasma etching, carbon concentration, and buffer layer on the properties of a-'SI': h / a-'SI IND.1-X''C IND.X' : h multilayers. Journal of Applied Physics. 1994 ;75( ja 1994): 543-8.[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Velasquez ELZ, Fantini MC de A, Páez Carreño MN, Pereyra I, Takahashi H, Landers R. Effect of plasma etching, carbon concentration, and buffer layer on the properties of a-'SI': h / a-'SI IND.1-X''C IND.X' : h multilayers. Journal of Applied Physics. 1994 ;75( ja 1994): 543-8.[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento-resumo
Exafs e saxs de filmes finos de a-'SI IND.1-X''C IND.X' (1994)
Mastelaro, Valmor Roberto; Flank, A M; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés
Source: Resumos. Conference titles: Oficina de Propriedades de Materiais de Camada Fina para Aplicacoes Fotovoltaicas, Microeletronicas e Recobrimentos. Unidades: EP, IF
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MASTELARO, Valmor Roberto et al. Exafs e saxs de filmes finos de a-'SI IND.1-X''C IND.X'. 1994, Anais.. Campinas: Ifgw-Unicamp, 1994. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Mastelaro, V. R., Flank, A. M., Fantini, M. C. de A., Páez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (1994). Exafs e saxs de filmes finos de a-'SI IND.1-X''C IND.X'. In Resumos. Campinas: Ifgw-Unicamp.
NLM
Mastelaro VR, Flank AM, Fantini MC de A, Páez Carreño MN, Pereyra I. Exafs e saxs de filmes finos de a-'SI IND.1-X''C IND.X'. Resumos. 1994 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Mastelaro VR, Flank AM, Fantini MC de A, Páez Carreño MN, Pereyra I. Exafs e saxs de filmes finos de a-'SI IND.1-X''C IND.X'. Resumos. 1994 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento-resumo
On the structural properties of a-'SI IND.1-X''c ind.X: h thin films (1994)
Mastelaro, Valmor Roberto; Flank, A M; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Bittencourt, Diomar da Rocha Santos; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés
Source: Resumos. Conference titles: Workshop Anual de Usuarios do LNLS. Unidades: IF, EP
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
MASTELARO, Valmor Roberto et al. On the structural properties of a-'SI IND.1-X''c ind.X: h thin films. 1994, Anais.. Campinas: Lnls/Mct/Cnpq, 1994. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Mastelaro, V. R., Flank, A. M., Fantini, M. C. de A., Bittencourt, D. da R. S., Páez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (1994). On the structural properties of a-'SI IND.1-X''c ind.X: h thin films. In Resumos. Campinas: Lnls/Mct/Cnpq.
NLM
Mastelaro VR, Flank AM, Fantini MC de A, Bittencourt D da RS, Páez Carreño MN, Pereyra I. On the structural properties of a-'SI IND.1-X''c ind.X: h thin films. Resumos. 1994 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Mastelaro VR, Flank AM, Fantini MC de A, Bittencourt D da RS, Páez Carreño MN, Pereyra I. On the structural properties of a-'SI IND.1-X''c ind.X: h thin films. Resumos. 1994 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento
Structural characterization of a-'SI IND.1-X''C IND.X' (1992)
Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Takahashi, H; Landers, R
Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica. Unidades: EP, IF
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson et al. Structural characterization of a-'SI IND.1-X''C IND.X'. 1992, Anais.. Sao Paulo: Sociedade Brasileira de Microeletronica, 1992. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Páez Carreño, M. N., Pereyra, I., Fantini, M. C. de A., Takahashi, H., & Landers, R. (1992). Structural characterization of a-'SI IND.1-X''C IND.X'. In . Sao Paulo: Sociedade Brasileira de Microeletronica.
NLM
Páez Carreño MN, Pereyra I, Fantini MC de A, Takahashi H, Landers R. Structural characterization of a-'SI IND.1-X''C IND.X'. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Páez Carreño MN, Pereyra I, Fantini MC de A, Takahashi H, Landers R. Structural characterization of a-'SI IND.1-X''C IND.X'. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento-resumo
Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h (1992)
Velasquez, E L Z; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés ; Takahashi, H.; Landers, R.
Source: Programa e Resumos. Conference titles: Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada. Unidades: IF, EP
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
VELASQUEZ, E L Z et al. Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h. 1992, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica, 1992. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Velasquez, E. L. Z., Fantini, M. C. de A., Páez Carreño, M. N., Pereyra, I., Takahashi, H., & Landers, R. (1992). Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h. In Programa e Resumos. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica.
NLM
Velasquez ELZ, Fantini MC de A, Páez Carreño MN, Pereyra I, Takahashi H, Landers R. Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h. Programa e Resumos. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Velasquez ELZ, Fantini MC de A, Páez Carreño MN, Pereyra I, Takahashi H, Landers R. Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h. Programa e Resumos. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento-resumo
Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante (1992)
Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Takahashi, H; Landers, R
Source: Programa e Resumos. Conference titles: Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada. Unidades: EP, IF
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson et al. Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante. 1992, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica, 1992. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Páez Carreño, M. N., Pereyra, I., Fantini, M. C. de A., Takahashi, H., & Landers, R. (1992). Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante. In Programa e Resumos. São Paulo: Sociedade Brasileira de Fisica.
NLM
Páez Carreño MN, Pereyra I, Fantini MC de A, Takahashi H, Landers R. Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante. Programa e Resumos. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Páez Carreño MN, Pereyra I, Fantini MC de A, Takahashi H, Landers R. Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante. Programa e Resumos. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento
Small angle x-ray scattering in amorphous films and multilayers (1992)
Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Santos, P V; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés
Source: Anais. Conference titles: Workshop on Crystalline and Amorphous Silicon and Its Alloys. Unidades: EP, IF
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu et al. Small angle x-ray scattering in amorphous films and multilayers. 1992, Anais.. Campinas: Emopi, 1992. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Fantini, M. C. de A., Santos, P. V., Páez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (1992). Small angle x-ray scattering in amorphous films and multilayers. In Anais. Campinas: Emopi.
NLM
Fantini MC de A, Santos PV, Páez Carreño MN, Pereyra I. Small angle x-ray scattering in amorphous films and multilayers. Anais. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Fantini MC de A, Santos PV, Páez Carreño MN, Pereyra I. Small angle x-ray scattering in amorphous films and multilayers. Anais. 1992 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Trabalho de evento
Influence of hydrogen plasma in the properties of a-'SI': h / a-'SI' : h interfaces (1991)
Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Pereyra, Inés ; Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Andrade, Adnei Melges de
Source: Proceedings. Conference titles: European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition. Unidades: EP, IF
Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
ABNT
FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu et al. Influence of hydrogen plasma in the properties of a-'SI': h / a-'SI' : h interfaces. 1991, Anais.. Lisbon: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 1991. . Acesso em: 20 jun. 2024.
APA
Fantini, M. C. de A., Pereyra, I., Páez Carreño, M. N., & Andrade, A. M. de. (1991). Influence of hydrogen plasma in the properties of a-'SI': h / a-'SI' : h interfaces. In Proceedings. Lisbon: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo.
NLM
Fantini MC de A, Pereyra I, Páez Carreño MN, Andrade AM de. Influence of hydrogen plasma in the properties of a-'SI': h / a-'SI' : h interfaces. Proceedings. 1991 ;[citado 2024 jun. 20 ]
Vancouver
Fantini MC de A, Pereyra I, Páez Carreño MN, Andrade AM de. Influence of hydrogen plasma in the properties of a-'SI': h / a-'SI' : h interfaces. Proceedings. 1991 ;[citado 2024 jun. 20 ]

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