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  • Artigo de periodico

    Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD (2004)

    Criado, Denise ; Alayo Chávez, Marco Isaías ; Pereyra, Inés ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu

    Source: Materials Science and Engineering B. Unidades: IF, EP

    Subjects: MATERIAIS, MATÉRIA CONDENSADA, FILMES FINOS, FÍSICA DE PLASMAS

    Acesso à fonteAcesso à fonteDOIHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      CRIADO, Denise et al. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD. Materials Science and Engineering B, 2004Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.017. Acesso em: 02 jul. 2024.

    • APA

      Criado, D., Alayo Chávez, M. I., Pereyra, I., & Fantini, M. C. de A. (2004). Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD. Materials Science and Engineering B. doi:10.1016/j.mseb.2004.05.017

    • NLM

      Criado D, Alayo Chávez MI, Pereyra I, Fantini MC de A. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jul. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.017

    • Vancouver

      Criado D, Alayo Chávez MI, Pereyra I, Fantini MC de A. Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jul. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.017

  • Artigo de periodico

    Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films (2004)

    Pereyra, Inés ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Alayo Chávez, Marco Isaías ; Oliveira, R A R; Ribeiro, M; Scopel, Wanderla Luis

    Source: Materials Science and Engineering B. Unidades: IF, EP

    Subjects: MATERIAIS, MATÉRIA CONDENSADA, FOTOLUMINESCÊNCIA

    Acesso à fonteAcesso à fonteDOIHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      PEREYRA, Inés et al. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films. Materials Science and Engineering B, 2004Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.015. Acesso em: 02 jul. 2024.

    • APA

      Pereyra, I., Fantini, M. C. de A., Alayo Chávez, M. I., Oliveira, R. A. R., Ribeiro, M., & Scopel, W. L. (2004). Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films. Materials Science and Engineering B. doi:10.1016/j.mseb.2004.05.015

    • NLM

      Pereyra I, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Oliveira RAR, Ribeiro M, Scopel WL. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jul. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.015

    • Vancouver

      Pereyra I, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Oliveira RAR, Ribeiro M, Scopel WL. Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films [Internet]. Materials Science and Engineering B. 2004 ;[citado 2024 jul. 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.015
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