Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
ABNT
YAMAMOTO, Roberto Katsuhiro. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1992. . Acesso em: 15 out. 2024.APA
Yamamoto, R. K. (1992). Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Yamamoto RK. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992 ;[citado 2024 out. 15 ]Vancouver
Yamamoto RK. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992 ;[citado 2024 out. 15 ]