Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir (1992)
- Authors:
- Autor USP: YAMAMOTO, ROBERTO KATSUHIRO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: A corrosao por plasma tem sido largamente utilizada na industria microeletronica, nas etapas de transferencia de padroes. Particularmente, a corrosao de silicio e utilizada para obtencao de trincheiras que encontram aplicacao em capacitores utilizados em memorias e em isolacoes de dispositivos em circuitos integrados de alta integracao. Com o objetivo de estabelecer um processo de corrosao de silicio, foi feita a caracterizacao deste, utilizando-se o plasma de bromo-trifluor-metano e variando-se as condicoes de pressao, potencia, vazao e composicao. Corrosoes anisotropicas resultando perfis adequados as aplicacoes foram obtidas. A tecnica de medida de propriedades do plasma com sondas de langmuir foi demonstrada, utilizando-se uma sonda auto-compensada. A densidade de ion, a temperatura de eletron, o potencial de plasma e o potencial flutuante foram medidos para os plasmas de argonio, helio, hidrogenio, oxigenio e nitrogenio, em funcao da pressao, potencia, vazao e posicao da sonda. Finalmente, a aplicacao da sonda de langmuir no estudo da corrosao por plasma foi mostrada, para o caso particular da corrosao de polimeros com plasma de oxigenio
- Imprenta:
- Data da defesa: 19.11.1992
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ABNT
YAMAMOTO, Roberto Katsuhiro. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1992. . Acesso em: 18 set. 2024. -
APA
Yamamoto, R. K. (1992). Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Yamamoto RK. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992 ;[citado 2024 set. 18 ] -
Vancouver
Yamamoto RK. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992 ;[citado 2024 set. 18 ]
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