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Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC (2008)

  • Authors:
  • Autor USP: YAMAMOTO, ROBERTO KATSUHIRO - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Assunto: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
  • Language: Português
  • Abstract: Microplasmas são plasmas gerados em espaços com dimensões reduzidas, tipicamente, de dezenas a centenas de micrômetros. Apresentam como principal vantagem a possibilidade de se obter plasmas frios com densidades elevadas com baixo consumo de energia em pressões maiores do que em reatores convencionais, reduzindo sensivelmente o custo do equipamento. Um gerador de microplasma inédito foi desenvolvido neste trabalho, utilizando a tecnologia LTCC. O dispositivo é constituído por dois eletrodos paralelos de prata-paládio perfurados por centenas de microfuros, formando microcanais. O microplasma é gerado na região entre os eletrodos e é conduzido para fora do gerador através dos microcanais, constituindo um plasma remoto que pode interagir com a superfície de um material a ser processado. Os microfuros formam a estrutura de um microcatodo oco. Na fabricação, as camadas de cerâmica verde foram usinadas com uma máquina de CNC e os eletrodos foram obtidos por serigrafia. O método de pós-sinterização utilizando a cerâmica de transferência mostrou ser bastante reprodutível e produziu eletrodos totalmente planos, sem arqueamento. O gerador de microplasma foi instalado dentro de um reator RIE convencional e o microplasma foi gerado em DC e RF. A caracterização dos microplasmas de Ar, O2, N2 e He foi realizada por meio de curvas VxI, sonda dupla de Langmuir e espectroscopia de emissão óptica. Para descargas DC, em condições de baixa vazão de gás e elevada pressão, ascurvas VxI mostraram três modos de descarga: catodo oco, normal e anormal. O efeito catodo oco foi evidenciado também pelos espectros de emissão óptica que mostraram raias na faixa de 300 a 450 nm, que indicam a presença de elétrons de alta energia. Essas raias foram mais fortemente evidenciadas em descargas RF. ) Temperaturas de elétrons elevadas, na faixa de 10 a 30 eV, foram obtidas através de medidas com a sonda dupla de Langmuir, nas condições em que o efeito catodo oco foi observado. A aplicabilidade do gerador de microplasma foi testada com foco no tratamento de superfície de polietileno e os resultados mostraram alta capacidade de redução do ângulo de contato e aumento da molhabilidade superficial, demonstrando, conseqüentemente, substancial modificação da energia de superfície do material, através desse processo a microplasma
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 16.05.2008
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      YAMAMOTO, Roberto Katsuhiro; MACIEL, Homero Santiago. Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/ >.
    • APA

      Yamamoto, R. K., & Maciel, H. S. (2008). Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/
    • NLM

      Yamamoto RK, Maciel HS. Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/
    • Vancouver

      Yamamoto RK, Maciel HS. Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/


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