Oliveira, Alessandro Ricardo de; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador) 
Assuntos: SILÍCIO, SEMICONDUTORES
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ABNT
OLIVEIRA, Alessandro Ricardo de. Estudo da viabilidade de fabricação de dispositivos semicondutores baseados em filmes de carbeto de silício crescidos por PECVD. 2006. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08122006-142624/. Acesso em: 08 jul. 2024.APA
Oliveira, A. R. de. (2006). Estudo da viabilidade de fabricação de dispositivos semicondutores baseados em filmes de carbeto de silício crescidos por PECVD (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08122006-142624/NLM
Oliveira AR de. Estudo da viabilidade de fabricação de dispositivos semicondutores baseados em filmes de carbeto de silício crescidos por PECVD [Internet]. 2006 ;[citado 2024 jul. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08122006-142624/Vancouver
Oliveira AR de. Estudo da viabilidade de fabricação de dispositivos semicondutores baseados em filmes de carbeto de silício crescidos por PECVD [Internet]. 2006 ;[citado 2024 jul. 08 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08122006-142624/
