MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process (2012)
- Authors:
- USP affiliated authors: IBRAHIM, RICARDO CURY - EP ; BARROS, ETTORE APOLONIO DE - EP ; OLIVEIRA, VICTOR INACIO DE - EP ; MENDONÇA, LUCAS GONÇALVES DIAS - EP ; LIMA, BRUNO LUÍS SOARES DE - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/04901.0431ecst
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2012
- Source:
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices
- Status:
- Nenhuma versão em acesso aberto identificada
-
ABNT
OLIVEIRA, Victor Inacio de et al. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process. 2012, Anais.. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 2012. Disponível em: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst. Acesso em: 06 maio 2026. -
APA
Oliveira, V. I. de, Ibrahim, R. C., Barros, E. A. de, Mendonça, L. G. D., Lima, B. L. S. de, Piazzeta, M. H. de O., & Gobbi, A. L. (2012). MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process. In Microelectronics technology and devices, SBMicro. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo. doi:10.1149/04901.0431ecst -
NLM
Oliveira VI de, Ibrahim RC, Barros EA de, Mendonça LGD, Lima BLS de, Piazzeta MH de O, Gobbi AL. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2026 maio 06 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst -
Vancouver
Oliveira VI de, Ibrahim RC, Barros EA de, Mendonça LGD, Lima BLS de, Piazzeta MH de O, Gobbi AL. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2026 maio 06 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst - Estudo de dispositivos CMUTS fabricados com métodos e materiais alternativos para aplicação potencial em ensaios não destrutivos
- Extensômetros de resistência elétrica fabricados por serigrafia para aplicação como sensores de pressão e célula de carga
- Propriedades ópticas de filmes finos de Silício amorfo hidrogenado dopados com Érbio
- Modelagem e fabricação de modulador em óptica integrada baseado em filme magnetostrictivo para aplicação como magnetômetro
- Desenvolvimento de um micro-transdutor acústico capacitivo
- Micro-sensor capacitivo para avaliação da qualidade de combustíveis automotivos
- Projeto e fabricacão de microcanais para uso em microfluídica
- Interdigitated-type microsensor to measure solution concentration
- Simplificação da modelagem de cerâmicas piezelétricas multicamadas
- Estudo de filmes de titanato de bário crescidos por eletrodeposição
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