MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process (2012)
- Authors:
- USP affiliated authors: IBRAHIM, RICARDO CURY - EP ; BARROS, ETTORE APOLONIO DE - EP ; OLIVEIRA, VICTOR INACIO DE - EP ; MENDONÇA, LUCAS GONÇALVES DIAS - EP ; LIMA, BRUNO LUÍS SOARES DE - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/04901.0431ecst
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2012
- Source:
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
-
ABNT
OLIVEIRA, Victor Inacio de et al. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process. 2012, Anais.. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 2012. Disponível em: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst. Acesso em: 06 fev. 2026. -
APA
Oliveira, V. I. de, Ibrahim, R. C., Barros, E. A. de, Mendonça, L. G. D., Lima, B. L. S. de, Piazzeta, M. H. de O., & Gobbi, A. L. (2012). MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process. In Microelectronics technology and devices, SBMicro. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo. doi:10.1149/04901.0431ecst -
NLM
Oliveira VI de, Ibrahim RC, Barros EA de, Mendonça LGD, Lima BLS de, Piazzeta MH de O, Gobbi AL. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2026 fev. 06 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst -
Vancouver
Oliveira VI de, Ibrahim RC, Barros EA de, Mendonça LGD, Lima BLS de, Piazzeta MH de O, Gobbi AL. MEMS-based ultrasound transducer: CMUT modeling and fabrication process [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2026 fev. 06 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0431ecst - Modelagem e fabricação de modulador em óptica integrada baseado em filme magnetostrictivo para aplicação como magnetômetro
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Informações sobre o DOI: 10.1149/04901.0431ecst (Fonte: oaDOI API)
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