Estudo de dispositivos CMUTS fabricados com métodos e materiais alternativos para aplicação potencial em ensaios não destrutivos (2014)
- Authors:
- Autor USP: OLIVEIRA, VICTOR INACIO DE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMR
- Subjects: ENSAIOS NÃO DESTRUTIVOS; ULTRASSOM; MÉTODO DOS ELEMENTOS FINITOS
- Keywords: ANÁLISE DE VIBRAÇÃO
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho propõe o estudo de dispositivos CMUTs fabricados através de métodos e materiais alternativos com potencial aplicação em ensaios não destrutivos. O CMUT é constituído por uma membrana condutiva colocada sobre uma cavidade com o fundo metalizado, formando uma estrutura capacitiva. Ondas acústicas incidentes criam uma vibração na membrana que modifica de forma detectável a capacitância do dispositivo (modo de detecção). De modo inverso, é possível aplicar tensão alternada sobre a estrutura do CMUT fazendo com que a membrana vibre gerando ondas acústicas (modo de emissão). Hoje as principais tecnologias utilizadas para detecção e emissão de ondas acústicas utilizam materiais piezelétricos que são de difícil obtenção, possuem baixa integrabilidade e restrições em aplicações em altas temperaturas. O transdutor proposto baseia-se na tecnologia MEMS onde efeitos elétricos e mecânicos são combinados de forma a atender uma determinada aplicação. Os dispositivos MEMS são fabricados por técnicas de microfabricação, o que diminui o custo de produção e possibilita o uso de diversos tipos de materiais. Antes da fabricação dos CMUTs, foram feitas modelagens analíticas e computacionais visando determinar as dimensões ideais dos dispositivos a serem fabricados e também quais materiais seriam melhores se aplicados como membrana. A partir dos resultados da modelagem foi possível determinar que CMUTs com membrana de cobre fossem fabricados. Com os resultados da modelagem foram propostos métodos de fabricação baseados em técnicas de wafer-bonding. Dois materiais foram utilizados para produzir as cavidades um deles foi o fotorresiste SU-8 e outro uma cola acrílica, material este não convencional para produção de CMUTs.No primeiro caso as cavidades foram abertas por processo de fotolitografia, já no segundo foi utilizado um método de corrosão a laser, também não convencional. Diferentes métodos foram utilizados na colagem das membranas. Sendo que membranas coladas com cola acrílica e membranas deixadas suspensas sobre as cavidades apresentaram melhores resultados. As caracterizações elétricas e acústicas realizadas nos dispositivos fabricados mostraram que os CMUTs obtidos possuem características capacitivas e podem emitir e receber, comprovando assim seu funcionamento. Isto indica que os roteiros de fabricação propostos são eficientes e que os materiais e métodos utilizados se mostraram adequados. Além disso, a partir das caracterizações acústicas é possível dizer que os CMUTs fabricados podem ser potencialmente aplicados em ensaios não destrutivos, principalmente em análise de vibrações.
- Imprenta:
- Data da defesa: 10.11.2014
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ABNT
OLIVEIRA, Victor Inacio de. Estudo de dispositivos CMUTS fabricados com métodos e materiais alternativos para aplicação potencial em ensaios não destrutivos. 2014. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2014. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-11082015-160035/. Acesso em: 06 fev. 2026. -
APA
Oliveira, V. I. de. (2014). Estudo de dispositivos CMUTS fabricados com métodos e materiais alternativos para aplicação potencial em ensaios não destrutivos (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-11082015-160035/ -
NLM
Oliveira VI de. Estudo de dispositivos CMUTS fabricados com métodos e materiais alternativos para aplicação potencial em ensaios não destrutivos [Internet]. 2014 ;[citado 2026 fev. 06 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-11082015-160035/ -
Vancouver
Oliveira VI de. Estudo de dispositivos CMUTS fabricados com métodos e materiais alternativos para aplicação potencial em ensaios não destrutivos [Internet]. 2014 ;[citado 2026 fev. 06 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3152/tde-11082015-160035/
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