Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch (2013)
- Authors:
- USP affiliated authors: SILVA, ANA NEILDE RODRIGUES DA - EP ; SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP ; RUCHKO, LEONID - IF ; GALVAO, RICARDO MAGNUS OSORIO - IF
- Unidades: EP; IF
- Subjects: FÍSICA DE PLASMAS (CONGRESSOS); FILMES FINOS (CONGRESSOS); FISICA DE PLASMAS (TECNOLOGIA)(CONGRESSOS)
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Program: Poster Session
- Conference titles: Encontro Brasileiro de Física dos Plasmas
-
ABNT
OZONO, Edson Moriyoshi et al. Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch. 2013, Anais.. São Paulo: SBF, 2013. Disponível em: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdf. Acesso em: 29 dez. 2025. -
APA
Ozono, E. M., Silva, A. N. R. da, Silva, M. L. P. da, Ruchko, L. F., & Galvão, R. M. O. (2013). Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch. In Program: Poster Session. São Paulo: SBF. Recuperado de http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdf -
NLM
Ozono EM, Silva ANR da, Silva MLP da, Ruchko LF, Galvão RMO. Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch [Internet]. Program: Poster Session. 2013 ;[citado 2025 dez. 29 ] Available from: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdf -
Vancouver
Ozono EM, Silva ANR da, Silva MLP da, Ruchko LF, Galvão RMO. Production of silicon oxide like thin films by the use of atmospheric radio frequency plasma torch [Internet]. Program: Poster Session. 2013 ;[citado 2025 dez. 29 ] Available from: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/ebfp/12/sys/resumos/R0086-1.pdf - Spectroscopic diagnostic of an Argon-Hydrogen RF inductive thermal plasma torch at atmospheric pressure
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