Anisotropia de resistividade elétrica em filmes finos nanoestruturados (2007)
- Authors:
- Autor USP: TEIXEIRA, FERNANDA DE SÁ - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: MATERIAIS NANOESTRUTURADOS; MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA; PLASMA (MICROELETRÔNICA)
- Language: Português
- Abstract: O objetivo principal deste trabalho foi desenvolver um dispositivo de filme fino com anisotropia de resistividade elétrica. A idéia foi usar um efeito quântico presente em filmes muito finos de materiais condutores ou semicondutores com morfologia anisotrópica na superfície. A morfologia foi um perfil unidirecional quase-senoidal. As resistividades foram determinadas medindo-se as resistências elétricas destes materiais em direções ortogonais, levando-se em conta a geometria da amostra e suas dimensões. O material condutor usado foi Polimetilmetacrilato (PMMA) com ouro implantado na superfície. A profundidade média de implantação foi 2,7 nm. Na fabricação do dispositivo foi utilizada micro e nanolitografia, caracterização por Microscopia Eletrônica de Varredura e Microscopia de Força Atômica e implantação de ouro por MePIIID (Metal Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition).
- Imprenta:
- Data da defesa: 18.05.2007
-
ABNT
TEIXEIRA, Fernanda de Sá. Anisotropia de resistividade elétrica em filmes finos nanoestruturados. 2007. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27072007-175354/. Acesso em: 13 fev. 2026. -
APA
Teixeira, F. de S. (2007). Anisotropia de resistividade elétrica em filmes finos nanoestruturados (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27072007-175354/ -
NLM
Teixeira F de S. Anisotropia de resistividade elétrica em filmes finos nanoestruturados [Internet]. 2007 ;[citado 2026 fev. 13 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27072007-175354/ -
Vancouver
Teixeira F de S. Anisotropia de resistividade elétrica em filmes finos nanoestruturados [Internet]. 2007 ;[citado 2026 fev. 13 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27072007-175354/ - Implantação iônica de baixa energia em polímero para desenvolvimento de camadas compósitas nanoestruturadas condutoras litografáveis
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