Construção de uma fotoalinhadora para uso em microfabricação (2009)
- Autores:
- Autores USP: TEIXEIRA, FERNANDA DE SÁ - IF ; SALVADORI, MARIA CECILIA BARBOSA DA SILVEIRA - IF
- Unidade: IF
- Assuntos: FÍSICA (ESTUDO E ENSINO); MICROSCOPIA ELETRÔNICA
- Idioma: Português
- Imprenta:
- Nome do evento: Simpósio Internacional de Iniciação Científica
-
ABNT
SOUZA, Guido Gabriel de Andrade e TEIXEIRA, Fernanda de Sá e SALVADORI, Maria Cecília Barbosa da Silveira. Construção de uma fotoalinhadora para uso em microfabricação. 2009, Anais.. São Paulo: USP, 2009. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/Resumos/17Siicusp/resumos/165.pdf. Acesso em: 03 out. 2024. -
APA
Souza, G. G. de A., Teixeira, F. de S., & Salvadori, M. C. B. da S. (2009). Construção de uma fotoalinhadora para uso em microfabricação. In . São Paulo: USP. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/Resumos/17Siicusp/resumos/165.pdf -
NLM
Souza GG de A, Teixeira F de S, Salvadori MCB da S. Construção de uma fotoalinhadora para uso em microfabricação [Internet]. 2009 ;[citado 2024 out. 03 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/Resumos/17Siicusp/resumos/165.pdf -
Vancouver
Souza GG de A, Teixeira F de S, Salvadori MCB da S. Construção de uma fotoalinhadora para uso em microfabricação [Internet]. 2009 ;[citado 2024 out. 03 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/Resumos/17Siicusp/resumos/165.pdf - Self-neutralized ion beam
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