Study and characterization of a thick film of PMMA (polymethylmethacrylate) for application in integrated microoptics (2001)
- Authors:
- Autor USP: SEABRA, ANTONIO CARLOS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: SBMicro 2001: proceedings
- Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging
-
ABNT
MORAES, H. F. e SEABRA, Antonio Carlos. Study and characterization of a thick film of PMMA (polymethylmethacrylate) for application in integrated microoptics. 2001, Anais.. Brasília: SBMicro, 2001. . Acesso em: 06 nov. 2024. -
APA
Moraes, H. F., & Seabra, A. C. (2001). Study and characterization of a thick film of PMMA (polymethylmethacrylate) for application in integrated microoptics. In SBMicro 2001: proceedings. Brasília: SBMicro. -
NLM
Moraes HF, Seabra AC. Study and characterization of a thick film of PMMA (polymethylmethacrylate) for application in integrated microoptics. SBMicro 2001: proceedings. 2001 ;[citado 2024 nov. 06 ] -
Vancouver
Moraes HF, Seabra AC. Study and characterization of a thick film of PMMA (polymethylmethacrylate) for application in integrated microoptics. SBMicro 2001: proceedings. 2001 ;[citado 2024 nov. 06 ] - Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making
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