Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício (1989)
- Autor:
- Autor USP: SEABRA, ANTONIO CARLOS - EP
- Unidade: EP
- Subjects: CORROSÃO; SILÍCIO
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrgs
- Publisher place: Porto Alegre
- Date published: 1989
- Source:
- Título: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
SEABRA, Antonio Carlos. Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício. 1989, Anais.. Porto Alegre: Sbmicro/Ufrgs, 1989. . Acesso em: 02 nov. 2024. -
APA
Seabra, A. C. (1989). Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício. In Anais. Porto Alegre: Sbmicro/Ufrgs. -
NLM
Seabra AC. Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício. Anais. 1989 ;[citado 2024 nov. 02 ] -
Vancouver
Seabra AC. Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício. Anais. 1989 ;[citado 2024 nov. 02 ] - Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making
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