Construção e caracterização de um equipamento de corrosão por plasma e sua aplicação na corrosão de SiO² (1990)
- Authors:
- Autor USP: SEABRA, ANTONIO CARLOS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEL
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Este trabalho apresenta uma metodologia para o projeto e construção de um equipamento de corrosão por plasma na configuração RIE. Um estudo detalhado da técnica de corrosão por plasma foi realizado para permitir a análise detalhada das características das configurações (equipamentos) existentes. Um estudo da corrosão a seco de SiO² crescido termicamente foi realizado utilizando-se cf/sub/4 e cf/sub/4+h/sub/2 como gases de processo para comprovar a viabilidade do equipamento construído. Este estudo foi aplicado na obtenção de espaçadores para estruturas salicide. Os resultados obtidos comprovam a adequação da metodologia de projeto empregada e a viabilidade do equipamento desenvolvido. Suas características encontram-se dentro da faixa encontrada em literatura para equipamentos de concepção semelhante.
- Imprenta:
- Data da defesa: 27.03.1990
-
ABNT
SEABRA, Antonio Carlos. Construção e caracterização de um equipamento de corrosão por plasma e sua aplicação na corrosão de SiO². 1990. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1990. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052022-082844/. Acesso em: 30 dez. 2025. -
APA
Seabra, A. C. (1990). Construção e caracterização de um equipamento de corrosão por plasma e sua aplicação na corrosão de SiO² (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052022-082844/ -
NLM
Seabra AC. Construção e caracterização de um equipamento de corrosão por plasma e sua aplicação na corrosão de SiO² [Internet]. 1990 ;[citado 2025 dez. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052022-082844/ -
Vancouver
Seabra AC. Construção e caracterização de um equipamento de corrosão por plasma e sua aplicação na corrosão de SiO² [Internet]. 1990 ;[citado 2025 dez. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052022-082844/ - Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making
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