The role of the species formed in PECVD systems on the density of state of a Si:H films (1990)
- Authors:
- Autor USP: DIRANI, ELY ANTONIO TADEU - EP
- Unidade: EP
- Assunto: DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Warrendale
- Date published: 1990
- Source:
- Título: Materials Research Society Symposium Proceedings
- ISSN: 0272-9172
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 192, p. 175-180, 1990
-
ABNT
MARTINS, R. et al. The role of the species formed in PECVD systems on the density of state of a Si:H films. Materials Research Society Symposium Proceedings, v. 192, p. 175-180, 1990Tradução . . Acesso em: 12 nov. 2024. -
APA
Martins, R., Vieira, M., Fortunato, E., Santos, M., Dirani, E. A. T., Carvalho, N., et al. (1990). The role of the species formed in PECVD systems on the density of state of a Si:H films. Materials Research Society Symposium Proceedings, 192, 175-180. -
NLM
Martins R, Vieira M, Fortunato E, Santos M, Dirani EAT, Carvalho N, Baia I, Guimarães I. The role of the species formed in PECVD systems on the density of state of a Si:H films. Materials Research Society Symposium Proceedings. 1990 ; 192 175-180.[citado 2024 nov. 12 ] -
Vancouver
Martins R, Vieira M, Fortunato E, Santos M, Dirani EAT, Carvalho N, Baia I, Guimarães I. The role of the species formed in PECVD systems on the density of state of a Si:H films. Materials Research Society Symposium Proceedings. 1990 ; 192 175-180.[citado 2024 nov. 12 ] - Highly conductive N-Type micron s-Si:H films deposited at very low temperature
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