Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma (1991)
- Authors:
- Autor USP: DIRANI, ELY ANTONIO TADEU - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Foram estudadas as propriedades eletro-ópticas e estruturais de películas de silício microcristalino hidrogenado dopadas com fósforo em função dos parâmetros de deposição. As películas foram depositadas num reator do tipo plasma enhanced chemical vapor deposition. Observou-se que as propriedades do material são extremamente sensíveis a densidade de potência de r.f. E a concentração de hidrogênio na mistura gasosa. As propriedades elétricas, ópticas e a estrutura das películas foram estudadas através da energia de ativação e condutividade, da energia do hiato óptico, difração raios-x com incidência de baixo ângulo, espectroscopia Raman e espectroscopia de infravermelho. O tamanho médio dos cristalitos apresentou-se na faixa entre 70 angstrons e 120 angstrons. Observou-se que a condutividade elétrica das películas e diretamente proporcional ao tamanho médio dos cristalitos é também depende da concentração de hidrogênio na mistura gasosa e da densidade de potencia r.f.
- Imprenta:
- Data da defesa: 21.11.1991
-
ABNT
DIRANI, Ely Antonio Tadeu. Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma. 1991. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1991. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-093110/pt-br.php. Acesso em: 20 jan. 2026. -
APA
Dirani, E. A. T. (1991). Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-093110/pt-br.php -
NLM
Dirani EAT. Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma [Internet]. 1991 ;[citado 2026 jan. 20 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-093110/pt-br.php -
Vancouver
Dirani EAT. Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma [Internet]. 1991 ;[citado 2026 jan. 20 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012025-093110/pt-br.php - Low operating voltage of an pled structure in ITO/MEH-PPV/AI light emmiting device
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